专刊征稿|“半导体装备系统动力学与控制”专刊征稿启事
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      光刻机是集成电路制造中最重要、最复杂、最昂贵的核心设备,其制造集成了先进系统动力学与控制、先进光学、先进材料等顶尖科学技术,被誉为“超精密尖端装备的珠穆朗玛峰”。近年来,随着中美贸易摩擦的发展,以先进光刻机为代表的高端集成电路制造装备被发达国家严格限制出口到我国,使先进制程的半导体装备成为我国集成电路领域发展的“卡脖子”问题。在半导体装备的研制中,机械系统动力学与控制起着至关重要的作用:减振、隔振技术能够隔离大地振动,为集成电路生产提供一个稳定环境;运动控制技术能够实现精密扫描、精密定位,保障套刻精度、分辨率等光刻机核心指标;亚纳米级的位移精密测量、精密执行器能够降低系统延迟,提升控制精度。为了促进半导体装备系统动力学与控制的发展,增强科学研究与产业研发的交流融合,打造产学研用交流平台,助力我国在半导体装备领域不断突破“卡脖子”技术,《动力学与控制学报》特组织“半导体装备系统动力学与控制”专刊,旨在征集和报道半导体装备系统动力学与控制研究中的创新性研究成果及其在工程中的应用。

征文主题包括但不限于:

1.半导体装备系统动力学建模与分析;

2.微振动的主动隔振、减振方法;

3.精密系统设计与优化;

4.精密运动控制方法; 

5.精密驱动系统;

6.高精度测量与检测技术;

7.半导体装备精密环境控制;

8.工程应用。

 

进度安排:

      自本启事发布之日起接受投稿,2024年9月30日截止,预计2024年12月(第12期)出版。

 

论文形式:

      研究论文与综述论文,稿件涉及的研究内容真实可靠,报道内容具有创新性,研究方向为征稿主题的报道范围。

 

投稿方式:

      在《动力学与控制学报》官网首页(http://dlxykzxb.cnjournals.net/),点击作者登录进行投稿,投稿时请选择“半导体装备系统动力学与控制专刊”栏目,同时将稿件发送至本专栏负责人孙煜副研究员邮箱:sunyu_aet@fudan.edu.cn,邮件主题:半导体装备系统动力学与控制专刊投稿。论文格式请参考《动力学与控制学报》投稿模板

 

客座主编:

 

孙煜,男,复旦大学副研究员,硕士生导师。从事半导体装备精密系统动力学、主动减振技术、主动吸振技术、精密运动控制研究。在Science China Technology Science、International Journal of Non-Linear Mechanics等权威期刊发表论文20余篇,获授权发明专利10余项。主持国家自然科学基金青年基金、企业产品开发等项目,参与国家02重大专项、国家支撑计划等项目,入选2023年上海市青年科技英才扬帆计划项目,入选2019年上海市超级博士后(日常)资助计划,获评同济大学优秀博士论文。

 

      宋法质,男,哈尔滨工业大学副研究员,主要从事面向半导体制造装备的超精密运动性能调控技术研究。围绕智能优化与控制、多源扰动观测与补偿、多自由度解偶与协同控制等方向,在IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE Transactions on Neural Networks and Learning Systems、IEEE/ASME Transactions on Mechatronics等权威期刊发表学术论文30余篇,授权中国发明专利25项,美国发明专利3项,登记软件著作权4项,起草国家标准1项,主持国家自然科学基金面上、青年项目、国家某重大项目子课题等项目十余项,参与国家科技重大专项、国家自然科学基金重点项目等。担任Instrumentation、中国测试等期刊青年编委,获中国仪器仪表学会技术发明一等奖1项,入选黑龙江省优青,黑龙江省高层次人才等荣誉称号。

 

      徐云浪,男,中南大学特聘副教授,主要研究方向为半导体设备精密运动台控制、精密特种电机设计,获得“上海市超级博士后特别资助”,主持国家自然科学基金1项,主持国家重点研发计划项目课题1项,主持博士后科学基金站前特别资助1项,主持博士后科学基金面上项目1项,主持国家重点实验室开放课题1项,企业项目1项,参与国家02重大专项、国家重点研发计划项目、上海市科委重大项目各1项,发表学术论文26篇,获得授权发明专利6项。

 

      李雪平,男,博士,重庆大学助理研究员/弘深青年教师,主要从事光刻机关键子系统、精密光电设备、动力装备的振动抑制方法研究。主持军委科技委 xx 电机项目子课题一项,作为主要完成人参与 02 专项-浸没光刻机动力学及超稳定结构设计方法和军委科技委重点项目水下大型 xx 的xx减振技术、 xx 智能 xx 技术等国家重大项目的研究工作。发表SCI论文9篇,授权发明专利10项,获中国公路建设行业协会特等奖1项。

 

联系方式:

客座主编:孙煜副研究员

邮箱:sunyu_aet@fudan.edu.cn

编辑部:李迎春老师

电话:0731-88822722

邮箱:dlxykzxb@hun.edu.cn

微信:JDC88822722

发布日期:2024-03-28浏览次数:

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