摘要
本文考虑一类双边电容型微谐振器,提出在系统直流偏置电压上施加时滞速度反馈实施控制其复杂动力学行为.通过引入新变量解析表达同异宿轨道,在此基础上研究时滞反馈抑制该系统全局分岔的机理及其控制效果.发现时滞速度反馈对控制微结构吸合不稳定非常有效,却并不适用于控制混沌.本文研究在提高静电驱动微机械振动系统的动完整性上具有潜在的应用价值.
静电微谐振器是微机电系统(MEMS)中最常用的元器件之一,具有广泛的应用领
为保障微谐振器的正常运行,有必要对其复杂动力学行为实施有效控制.然而,对于微器件,尺寸微小使得其在结构上直接施加控制可行性低,且容易造成结构形变,因此多数控制施加在驱动电路
为此,考虑一类双边电容型微谐振器结构,已有研究表明驱动交流电压幅值的增大导致该系统发生混沌运动和吸合不稳定现
本文以一类典型的静电双边电容型微谐振器为研究对
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其中,等式右边为双边平行板的静电驱动力,是振动元件有效总质量;是振动极板的位移;为平行板处于静止状态的电容;为等效阻尼系数;是极板间初始间距;为该系统的线性刚度,为非线性刚度,、分别为直流偏置电压和交流电压的幅值,且满足;是交流电压的频率,为反馈增益系数,为时滞量.

图1 时滞速度反馈控制静电微谐振器系统动力学模
Fig. 1 The dynamical model of an electrostatic micro-resonator system under a delayed velocity feedbac
对系统(1)引入以下无量纲化变量
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得到无量纲系统
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由于系统(1)中阻尼系数、交流电压幅值与直流偏置电压之比以及反馈增益均为小量,因此可以引入小参数.对上式重新进行参数标度,即:
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则有
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当时滞量或增益系数时,时滞反馈项为零,控制系统(5)退化为无控制系统.当时,系统(5)退化为无扰动Hamilton系统
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其Hamilton量为
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由此可知,系统(6)有无势阱,以及势阱的形态和具体位置以及平衡点个数,均取决于无量纲化参数α和β.给定,β=0.338,则无扰动系统存在五个平衡点,具有三势阱,同时具有同宿轨道和异宿轨
研究非线性非自治系统的同异宿分岔条件,常用的方法是Melnikov方法.使用该方法,通常需要先将同异宿轨道表达为时间T的显函数.然而,本系统所对应的无扰动系统(6)含高阶非线性项,其同异宿轨道是无法直接用时间的显函数来表示.为此本节将引入新变量,将同异宿轨道和时间t都表达为新变量的显函数,从而为讨论同异宿分岔条件提供前提.对于同宿轨道,轨道与x轴的交点满足
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引入非线性时间变换φ(T)用来刻画同宿轨
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对于鞍点(0,0)假设
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同宿轨道满足
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根据上式,同宿轨道可表达为
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其中.根据(10)式和(11)式可以得到
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其中,B=4β-1,F(ϕ1,η1)和分别为第一类椭圆积分和第三类椭圆积分,且
类似地,可引入新变量ψ(T),设
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异宿轨道满足
(15) |
则根据和,该异宿轨道可表示为
(16) |
其中
(17) |
绘制

(a) 同宿轨道
(a) Homoclinic orbits

(b) 异宿轨道
(b) Heteroclinic orbits
图2 同异宿轨道对比
Fig. 2 Comparison of the orbits
由于同异宿轨道破裂会引起系统的复杂动力学行为,本节将通过Melnikov方法结合数值模拟研究同异宿分岔引起的复杂振动及时滞速度反馈对其的抑制作用.
对于施加时滞速度反馈的微谐振器系统(5),可以将Melnikov函数法推广至时滞受控系统,从而获得受控系统的异宿分岔必要条件.为此,时滞反馈项必须看成摄动项,不会引起平衡点稳定性的切换,即对于系统(5)的线性化系统,平衡点是稳定的焦点,不会随控制参数的变化改变稳定性.忽略ε高阶项可得到近似线性系统
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该系统不含时滞项,因此控制项不会引起平衡点的稳定性切换.可在(5)式中将控制项进行泰勒展开,并将异宿轨道(15)式代入Melnikov函数,得到
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其中
其中,分别为第二类椭圆积分.
当
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Melnikov函数存在简单零点,是系统发生异宿分岔的必要条件.将上式参数还原为原系统参数,则系统发生异宿分岔的必要条件为
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异宿分岔发生时,微谐振器系统发生吸合不稳

以下将通过具体研究系统(3)安全域的侵蚀程度来描述微结构的吸合不稳定现象,其中安全域为不引起极板吸合(即原系统或无量纲化系统(3)中)的初始条件的集合.对无量纲化系统(3),给定和,在,这样一个涵盖系统的同异宿轨道且相对较大的初始平面内取250×250个初始点,时间长度设定为3000个周期,若这段时间后系统在对应的初始条件下仍满足,则表示不发生吸合,该初始条件点以黑色点表示,则黑色区域为安全域;否则用白色表示.结合四阶Runge-Kutta方法和点映射方法来计算和绘制安全域分布情况.其中,安全域的边界分形表示初始条件的微小改变会引起微结构的吸合,即吸合不稳定现象.对于时滞速度反馈控制系统(3),由于零时刻前无反馈信号输入,则可以假定当时的初始状态.因此,仍能以零时刻初始平面表达其初始状态.
不同电压幅值下系统(3)的安全域随时滞量的演变如

(a) VAC=0.47V, τ=0

(b) VAC=0.5V, τ=0

(c) VAC=0.8V,τ=0

(d) VAC=0.47V,g=0.2, τ=1.7

(e) VAC=0.5V,g=0.2, τ=1.7

(f) VAC=0.8V,g=0.2, τ=1.7

(g) VAC=0.47V,g=0.2, τ=2

(h) VAC=0.5V,g=0.2, τ=2

(i) VAC=0.8V,g=0.2, τ=2
图4 当g=0.2时不同的交流电压幅值下安全域随时滞量的演变
Fig. 4 The evolution of safe basin with different time delays and AC voltage amplitudes when g=0.2
与上一节的分析类似,运用Melnikov方法的前提是时滞反馈项为摄动项,不影响原系统的平衡点稳定性.为此,在同宿轨道中心的邻域内,忽略ε的高阶项,得到近似线性系统
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考虑到当
(23) |
其中
(24) |
则(22)式的特征方程有纯虚根,因此发生平衡点稳定性切换的临界值为
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即当时滞参数满足或时,平衡点的稳定性不随控制项发生改变.此时可将时滞速度反馈项作为摄动项,进行二阶Taylor展开,带入同宿轨道表达,得到的Melnikov函数:
(26) |
其中
在中,由于引起同宿分岔的临界条件并不随时滞量或反馈增益系数发生改变,这说明时滞速度反馈对混沌现象起不到控制作用.还原回系统参数,可得到引起系统(1)发生同宿分岔的临界电压
(27) |
对应

图5 g=0.2时同宿分岔电压阈值随τ的变化
Fig. 5 Variation of voltage threshold for homoclinic bifurcation under different values of when g=0.2

图6 VAC=0.17V时振子位移随τ的变化
Fig.6 Variation of oscillator displacement with τ when VAC=0.17V
本文对一类双边电容微谐振器振动系统,在直流偏置电压上施加时滞速度反馈,研究反馈控制对微结构复杂性动力学行为的控制机理.首先将系统的同异宿轨道都通过引入新变量来显性表达,进而利用Melnikov方法得到系统同异宿分岔必要条件,结合数值仿真结果,研究发现时滞速度反馈能够控制微结构的吸合不稳定现象:当反馈增益为正时,时滞速度反馈能有效地抑制微结构的吸合不稳定.然而对于同宿分岔引起的混沌现象,时滞速度反馈未能起到控制作用.
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